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型号 | CLS-2150 |
测量速度 | ≤50mm/s |
测量时间 | ≤2秒/次 |
测量点间距 | ≥1μm |
自由设置测量精度 | ±1μm |
行程(X方向) | 15mm-40mm(可选) |
重复精度(X) | ±0.5μm |
量程(Z方向) | 400μm/1400μm/4000μm |
精度(Z) | ±0.1μm/0.5μm/1μm |
*小可测划痕宽度 | 0.05mm |
采样频率 | 100Hz-10kHz |
主机输入电压 | 90-264VAC |
主机额定功率 | 400W |
传感器输入 | 24VDC3A |
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