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光谱共焦位移传器广泛应用于物体位移、振动、形变、透明体厚度等各种*非接触式测量。
光谱共焦位移传感原理
光谱共焦法是利用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。光谱共焦法的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲，也可以进行*的测量，测量点不会改变。
*小光斑3.4um，可做非接触表面粗糙度或微观2D/3D形貌测量*高分辨率0.5nm颠覆激光位移传感器的新一代超*位移测量计
透明体、非透明或斜坡表面均可测量
可测量透明体厚度，*小可测厚度0.4um
典型应用：
Ø 微位移振动测量 压电驱动器微位移振动测量，磁致伸缩位移，生物力学形变
Ø 精确定位 LAMOST光纤定位，平面的定位等
Ø 旋转体跳动测量 机床主轴跳动 球面镜旋转跳动等
Ø 透明体厚度测量 玻璃厚度，透镜厚度，膜厚，水膜厚度等
Ø 轮廓/3D形貌测量 透镜轮廓扫描，磨损量测量，3D形貌扫描等
部分型号技术参数
型号 | CDS-200 | CDS-200 | CDS-200 | CDS-200 | CDS-200 |
光学笔 | OP0.15-Fa | OP0.4-Fb | OP1.4-Fb | OP4.0-Fd | OP12.0-Fd |
量程 | 0.15mm | 0.4 mm | 1.4mm | 4.0 mm | 12.0 mm |
工作距离 | 3.35mm | 11.0 mm | 12mm | 16.4 mm | 29 mm |
光斑直径 | 2.7μm | 3.4 μm | 6.8μm | 7.2 μm | 16.5 μm |
重量 | 195g | 190 g | 215g | 155 g | 175 g |
分辨率 | 15nm | 8 nm | 100nm | 50 nm | 180 nm |
精度 | 50nm | 80 nm | 240nm | 300 nm | 900 nm |
*小可测量厚度 | 7.5μm | 16 μm | 38μm | 110 μm | 450 μm |
大可测量厚度 | 175μm | 510 μm | 2000μm | 5700 μm | 16500 μm |
测量模式 | 距离和厚度 | ||||
采样速度 | 100 Hz to 2000Hz | ||||
数字输出 | USB 2.0 and RS232 (up to 460800 baud) | ||||
数字分辨率 | 距离模式: 30 bits | ||||
厚度模式: 15 bits | |||||
同步 | 输入和输出0V - 5V TTL同步信号 | ||||
丰富的触发功能 | |||||
功能 | «双频率»模式 | ||||
«LED自动调节»模式 | |||||
«抓*峰»模式 | |||||
«保持*后值»模式 | |||||
«厚度校正» | |||||
电源/功耗 | 100V to 240 V AC 50-60 Hz / 25W |
应用
微 位移、微形变*测量
Ø 超高线性度，可以作为传感器的标定使用
Ø 通过长度测量可以测量计算难以获取的微小应变
Ø 纯光学测头，不会受到强磁干扰，无温度散发，可以在真空中使用
在线检测
Ø 高测量速度和开放的接口，可以应用于生产线相关的检测或控制系统
Ø 色散原理具有超高的耐表面性，高光洁表面也可以稳定检测
Ø 侧视测量，可以测量*小直径7mm的微孔侧壁形貌
测振计
Ø 高速的测量频率和纳米级的分辨率，可以应用在物体的振动测量
厚度测量
Ø *的色散共焦成像原理可以测量透明材料的厚度，具有极高的精确度
液位控制
Ø 非接触式测量，可以对液位进行检测和测量
表面形貌扫描
Ø 符合新的ISO25178规定，*高能够测量几纳米以下表面粗糙度
Ø 非接触式粗糙度测量，对表面没有任何影响
Ø 连接三维扫描设备，能够实现复杂表面的亚微米级精度的2D和3D测量
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