光谱共焦位移传感器

光谱共焦位移传感器原理

光谱共焦法是利用波长信息测量距离的。由光源射出一束宽光谱的复色光（呈白色），通过色散镜头发生光谱色散，形成不同波长的单色光。每一个波长的焦点都对应一个距离值。测量光射到物体表面被反射回来，只有满足共焦条件的单色光，可以通过小孔被光谱仪感测到。通过计算被感测到的焦点的波长，换算获得距离值。光谱共焦法的同轴共焦原理可以保证即使被测物存在倾斜或者翘曲，也可以进行*的测量，测量点不会改变。

光谱共焦位移传感器 广泛应用于物体位移、振动、形变、透明体厚度等各种*非接触式测量。

光谱共焦位移传感器可同时测量透明体厚度和平整度并输出位移及厚度。

以往玻璃、薄膜行业测量厚度都是用卡尺人工抽样检测，如果是较大的基板就无法任意检测各个位置，并且用卡尺检测受人为影响非常严重。采用我们的光谱共焦位移传感器非接触式光学测量，可以在线测量大尺寸玻璃或薄膜的厚度和平整度。