电子工业用超纯水概述
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩNaN、15MΩNaN、10MΩNaN、2MΩNaN、0.5MΩNaN,以区分不同水质。
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