TG5、TG6-9

机型\项目
    TG5
    TG6-9
   
镀膜室规格   
    Ǿ700mm -800mm *800mm -880mm
    Ǿ900mm -1000mm *1000mm -1200mm
   
极限真空度   
    ≤7.6×10-4Pa
冷态抽真空时间
    从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟   
机组配置
    KT-400扩散泵机组
    KT-400扩散泵机组
或KT-500扩散泵机组
    KT-600扩散泵机组
靶配置
    5个电弧靶1个磁控靶
    6-9个电弧靶2个磁控靶
    2个大面积弧靶2对孪生靶
配电要求   
    40KW
    50KW
    60KW
备注
    可根据用户产品、产量、膜层特殊要求设计制造非标设备
佛山市南海罗村炫辰钛金厂主营：真空镀膜设备;欢迎与我们联系！
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