TG—10-12、TG—26-30

 机型\项目
    TG—10-12
    TG—14-16
    TG—20-24
    TG—26-30
    TG—32-36
    TG—36-40
镀膜室规格   
    Ǿ
1300-1600*1500-1750mm
    Ǿ
1400-1600*1600-2200mm
    Ǿ
1500-1600*3500mm
    Ǿ
1800-1900*3600mm
    Ǿ
2000-2300*3600mm
    Ǿ
2300-3000*3000-3600mm
极限真空度   
    ≤7.6×10-4Pa
冷态抽真空时间
    从1×105Pa至6.6×10-3Pa≤15分钟   
机组配置   
    KT-600扩散泵机组
    KT-630扩散泵机组
    KT-800扩散泵机组
    2套KT-800扩散泵机组
    2套KT-1000扩散泵机组
    2套KT-1000扩散泵机组
蒸发源配置
    10
    12
    20
    24   
    32   
    40   
配电要求   
    60KW
    80KW
    120KW
    160KW
    180KW
    230KW
厂房要求
    一层总高6.5米
    一层总高6.5米
    一层总高6.5米
    二层总高9.2米
    二层总高9.5米
    一层400平方米
佛山市南海罗村炫辰钛金厂主营：真空镀膜设备;欢迎与我们联系！
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