真空镀膜电源，真空溅射镀膜电源，真空蒸发镀膜电源高频直流电源

本公司生产的真空镀膜电源（真空蒸发镀膜电源和真空溅射镀膜电源）
有以下特点：1、恒压，恒功率

    2、抑制靶材弧光放电及抗短路功能, 具有*的负载匹配能力。

    3、工艺重复性好。

    4、提高成膜速度， 实现高质量的溅射膜层。

    技术参数
    品名 真空镀膜电源 
型号 SPWM系列 
输入 相数 单相或三相 
电压 220/380V 
频率 50Hz 
输入方式 4线（含地线） 
输出 波形 直线 
功率 30KW /60KW /100KW（可定制） 
电压 0—1200V（可定制） 
稳定度 ≤1% 
电流 0—200A（可定制） 
稳定度 ≤1% 
纹波及杂讯 ≤5%或≤3% 
效率 ≥90% 
控制 功率 可选择 
电压 恒压控制，可本地控制也可通过0-10V或4-20mA 
电流 可选择 
保护 具备缺相、过热、限压、恒功率、过压、过流、短路、超载等保护功能 
冷却 风冷 
外型 外壳
   
尺寸(W*D*H) 482.6mm*600mm*266.7mm（30KW）
   
重量 30KG（30KW）
   
备注
   
 
开关电源特点

    体积小，重量轻，*，节能效果显著。功率因子高，对电网污染小。输出纹波小。输出电压，电流独立可调，恒压，恒流自动转换。
 
真空镀膜应用领域

    真空镀膜行业不同于以往的电镀行业，属于物理方式的表面处理行业。广泛用于各种金属及非金属镀膜装置，涂镀光元件、微电子元件、磁性元件、钟表、种类装饰材料、体育用品、精密工模具、薄膜包装等镀膜制品，以及应用于现代工业、航空航天航海等军事领域的镀耐蚀膜、*损膜、固体润滑膜装置。
 

    本公司自主研发生产的真空镀膜电源，成功地运用了优异的脉宽调制技术（PWM），引进三菱、富士等国外*的IGBT核心执行元件，大功率机器采用结构均流技术，并配以各种完善的保护功能，使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决，满足低纹波要求，且体积小、重量轻、节能环保，是一种性价比*优异的直流电源产品，也是可控硅整流电源的替代品。
 
电源类型 三相桥式整流
 六相双反星形整流
 高频开关直流电源
 
体积
 一般
 较大
 较小
 
功率因数
 随导通角变化
0.5-0.9
 随导通角变化
0.5-0.9
 始终≥0.92
 
电源效率
 0.86左右
 0.88左右
 ≥0.92
 
谐波含量
 较大（导通角小时较大）
 一般（导通角小时较大）
 较小（功率大小基本不变）
 
节能效果
 无
 一般
 较好
 
噪音
 一般
 较大
 无
 
成本
 一般
 比较高
 比较高
 
 

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