供应流量计，多晶硅炉用，BROOKS

上海网磁电子有限公司*供应美国原装、全新 
的质量流量计－MFC,BROOKS。*用于制造 
单晶硅炉和多晶硅炉设备上面使用，适用的气体 
有氮气、氩气、氢气、氧气等纯净气体。 
气体的大量程：50－120SLM,数字和模拟兼容 
电气接口：D型15针 管道接口：3/8"VCR 
交货周期：4周左右，长期订货，周期还会短。 
可以完全替代和兼容MKS的相关流量计。 
Analog I/O Option: 
• 15-pin D-Connector 
• 0(1)-5 Volt or 0(4)-20 mA setpoint and flow signals 
• Single sided 24 Volt DC power supply 
(13.5-27 volts DC range). 
• Separate Valve-Override signal 
• Precision 5 Volt Reference Output signal 
• Compatible with Brooks' Model 0150 series 
secondary electronics 
• TTL (open collector) Alarm Output signal 
Digital Communication Options: 
• DeviceNetTM, ODVATM certified 
• FOUNDATIONTM Fieldbus, H1 Certified 
• HART® based RS-485 multidrop 

上海网磁电子有限公司主营：五金机电产品,快速接头,阀门,电子元器件,集成电路,仪器仪表,不锈钢管等;欢迎与我们联系！
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